プラズマ放電工学

Plasma Discharge Engineering

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電気物性工学専攻科目

工学研究科

1年

HETML5MCA1

2単位

講義 (Lecture)

2024年度前期

菊池 祐介

工学研究科

日本語

目標9

随時・書写B207研究室

ykikuchi@eng.u-hyogo.ac.jp

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1◎／2〇／3〇

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講義目的：
プラズマ・放電は半導体製造過程から新エネルギー創製まで幅広い分野にて利用されている。本講義では，プラズマ・放電現象の物性・挙動の基礎について理解することを目的とする。

到達目標：
・荷電粒子の運動，電離・再結合等の素過程をもとにして、プラズマ放電の発生原理や振る舞いを説明できる。
・プラズマ放電生成法，計測法について説明できる。

【サブタイトル】
社会を支えるプラズマ放電技術を活用できるようになるための基礎を学修する
【キーワード】
荷電粒子の基礎過程、放電形態、プラズマ放電と材料相互作用

【講義内容】
プラズマ放電工学の基礎である荷電粒子の振る舞いからプラズマ放電生成法，計測法から，最近注目されているプラズマ放電応用まで解説する。

授業計画：
１．気体論の基礎
２．荷電粒子の基礎過程
３．荷電粒子の輸送過程
４．プラズマ放電生成の基礎過程
５．放電の形態：部分放電・沿面放電
６．放電の形態：誘電体バリア放電
７．放電の形態：グロー放電・アーク放電
８．プラズマ放電の計測
９．プラズマ放電と材料相互作用
１０．絶縁機器・技術
１１．プラズマ放電応用：光源としての利用
１２．プラズマ放電応用：半導体プロセス技術
１３．新しいプラズマ放電分野：インバータサージと部分放電
１４．新しいプラズマ放電分野：大気圧非平衡プラズマ放電
１５．まとめと理解度の確認

生成系AIの利用：
生成系AIの利用については教員の指示に従うこと。生成系AIによる
出力結果をそのまま課題レポートとして提出してはいけない。生成系AIに
よる出力をそのまま提出したことが判明した場合は単位を認定しない、又
は認定を取り消すことがある。

資料配布

「プラズマ理工学入門」　高村秀一　（森北出版）
「気体放電論」　原雅則　酒井洋輔　（朝倉書店）

【予習】授業に際して指示する配布資料を事前読み込み（30ｈ）
【復習】講義内容の理解を深め定着させるために配布資料を読み直し（30ｈ）

該当しない

【成績評価の基準】
講義目的・到達目標に記載する能力の到達度に基づき、S（90点以上）、A（80点以上）、B（70点以上）、C（60点以上）による成績評価のうえ、単位を付与する。
【成績評価の方法】
課題提出により評価する。

課題については、原則次の講義内で解説するとともに、授業評価アンケートの教員コメント欄に課題への取組みに関するコメントもあわせて記載する。

該当しない。