荷電粒子ビーム応用工学

授業科目名

荷電粒子ビーム応用工学

(英語名)

Charged Particle Beam Engineering andApplications

科目区分

ー

電気物性工学、電子情報工学専攻科目

対象学生

工学研究科

学年

1年

ﾅﾝﾊﾞﾘﾝｸﾞｺｰﾄﾞ

HETMA5MCA1

単位数

2単位

ナンバリングコードは授業科目を管理する部局、学科、教養専門の別を表します。詳細は右上の？から別途マニュアルをダウンロードしてご確認ください。

授業の形態

講義 (Lecture)

開講時期

2024年度前期

(Spring semester)

担当教員

豊田紀章

所属

工学研究科

授業での使用言語

日本語

関連するＳＤＧｓ目標

目標9

ｵﾌｨｽｱﾜｰ・場所

随時・担当者居室

連絡先

ntoyoda@eng.u-hyogo.ac.jp

対応するディプロマ・ポリシー(DP)・教職課程の学修目標

二重丸は最も関連するDP番号を、丸は関連するDPを示します。

学部DP

ー

研究科DP

1◎

全学DP

ー

教職課程の学修目標

ー

講義目的・到達目標

【講義目的】材料の加工・計測に幅広く用いられている電子・イオンといった荷電粒子ビームの発生技術や輸送技術、固体に照射されたときの相互作用・照射効果を講義して基本的特性・原理を習得し、それらがどのように利用されているかを理解することを目的とする。

【到達目標】荷電粒子ビームの発生、原理、相互作用および応用機器について理解できる。

授業のサブタイトル・キーワード

講義内容・授業計画

【講義内容】
電子・イオンといった荷電粒子ビームは、材料の加工・計測などに幅広く用いられており、本学においても最先端の科学技術研究・応用が進んでいる。これら荷電粒子ビームの基本的な原理や発生・輸送技術を理解することは、応用に際しても大変重要である。本講義では、電子とイオンの基本的性質から、その発生・輸送技術や照射効果について解説し、さらに荷電粒子ビームを利用した加工装置や分析装置について説明を行い、実際にどのように応用されているかを講義する。

【授業計画】
1．電子とイオンの基本的性質1
2．電子とイオンの基本的性質2
3．電子・イオンの発生
4．電子・イオンビームの輸送1
5．電子・イオンビームの輸送2
6．質量選別技術
7．電子ビーム照射効果
8．イオンと固体表面との相互作用1
9．イオンと固体表面との相互作用2
10．電子ビーム応用装置1
11．電子ビーム応用装置2
12．イオンビーム分析装置1
13．イオンビーム分析装置2
14．イオンビーム加工装置1
15．イオンビーム加工装置2

教科書

指定せず。適宜プリント等を配布。

参考文献

事前・事後学習（予習・復習）の内容・時間の目安

【予習】授業に際して配布する資料を事前読み込み（30ｈ）、プレゼンテーションの準備（10ｈ）
【復習】レポート作成、講義の理解を深め定着させるための資料読み直し（20ｈ）

アクティブ・ラーニングの内容

講義中に学生がプレゼンテーションを行い、聴講学生とのディスカッションを行う。

成績評価の基準・方法

【成績評価の基準】
講義目的・到達目標に記載する能力の到達度に基づき、S(90点以上)、A（80点以上）、B(70点以上)、C(60点以上)による成績評価の上、単位を付与する。
【成績評価の方法】
受講態度による評価（30%）、プレゼンテーション評価（40%）、レポート（30%）で総合評価する。

課題・試験結果の開示方法

小テストや演習問題は講義時間内に解説する。ユニバーサルパスポートを使用する場合もある。

履修上の注意・履修要件

病気等で授業を欠席する場合、診断書（原本、コピー可）、病院の領収書等を提出すること。
課題やレポートの作成に際して生成系AIを使用しないこと。

実践的教育

該当しない

備考

英語版と日本語版との間に内容の相違が生じた場合は、日本語版を優先するものとします。

シラバス情報