シラバス情報
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教員名 ： 岡 好浩
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授業科目名
プラズマ応用工学
(英語名)
Applied Plasma Engineering
科目区分
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電気物性工学専攻科目
対象学生
工学研究科
学年
1年
ﾅﾝﾊﾞﾘﾝｸﾞｺｰﾄﾞ
HETML5MCA1
単位数
2単位
ナンバリングコードは授業科目を管理する部局、学科、教養専門の別を表します。詳細は右上の？から別途マニュアルをダウンロードしてご確認ください。
授業の形態
講義 (Lecture)
開講時期
2024年度前期
担当教員
岡 好浩
所属
工学研究科
授業での使用言語
日本語
関連するＳＤＧｓ目標
目標9
ｵﾌｨｽｱﾜｰ・場所
随時・書写B315研究室
連絡先
oka@eng.u-hyogo.ac.jp
対応するディプロマ・ポリシー(DP)・教職課程の学修目標
二重丸は最も関連するDP番号を、丸は関連するDPを示します。
学部DP
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研究科DP
1◎
全学DP
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教職課程の学修目標
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講義目的・到達目標
【講義目的】
低圧プラズマ、大気圧低温プラズマに加えて、近年注目されている液中低温プラズマの応用について理解を深めることを目的とする。 【到達目標】 プラズマの応用を習得し、最新の応用例を探して、内容をまとめ、説明できる。 授業のサブタイトル・キーワード
サブタイトル：最新の応用例を身につけるプラズマ応用工学
キーワード：プラズマ応用、低圧プラズマ、大気圧低温プラズマ、液中プラズマ 講義内容・授業計画
【講義内容】
低圧プラズマ、大気圧低温プラズマ、液中低温プラズマの応用について講述する。また、社会的課題を解決できる可能性のある最新の応用例についても解説する。 【授業計画】 1. プラズマの分類 2. 低圧プラズマ 3. 低圧プラズマの応用①：CVD、PVD、エッチング 4. 低圧プラズマの応用②：PBII、PBIID 5. 低圧プラズマの応用③：半導体製造プロセス 6. 大気圧低温プラズマ 7. 液中低温プラズマ、ソリューションプラズマ 8. キャビテーションプラズマ(CBP) 9. CBPの応用：分散、合成、殺菌、分解 10. 最新の応用例①：ディスカッション1 11. 最新の応用例②：ディスカッション2 12. 最新の応用例③：資料作成1 13. 最新の応用例④：資料作成2 14. 最新の応用例⑤：発表1 15. 最新の応用例⑥：発表2 生成系 AIの使用： レポート課題の作成に際して、生成系 AIを使用したことが判明した場合は、単位を認定しないこと、又は認定を取り消すことがある。 教科書
適宜資料を配付する。
参考文献
「放電プラズマ工学」 行村 健 編著 (オーム社)
「大気圧プラズマ 基礎と応用」 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会 編 (オーム社) 事前・事後学習（予習・復習）の内容・時間の目安
【予習】授業に際して指示する教材の事前読み込み（15ｈ）、プレゼンテーションの準備（25ｈ）
【復習】レポート作成（1回、5ｈ）、講義内容の理解を深め定着させるために教材を読み直し（15ｈ） アクティブ・ラーニングの内容
５人程度のグループに分け、グループ単位でのディスカッション(2回)、資料作成(2回)、発表(2回)を予定（全員1回は発表）。
成績評価の基準・方法
【成績評価の基準】
到達目標を成績評価の方法によりS(90点以上)、A(80点以上)、B(70点以上)、C(60点以上)として評価し、単位を付与する。 【成績評価の方法】 発表50点、レポート30点、受講態度(質問内容、質問回数)20点の合計点で評価する。 課題・試験結果の開示方法
レポートは、優れた内容のものを講義の中で紹介しながら講評する。
履修上の注意・履修要件
・プラズマ放電工学を履修していることが望ましい。
実践的教育
該当しない。
備考
英語版と日本語版との間に内容の相違が生じた場合は、日本語版を優先するものとします。
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