High Voltage and Plasma Engineering

Course Title

Course Title in English

High Voltage and Plasma Engineering

Course Type

-

電気電子工学分野科目

Eligible Students

Graduate School of Engineering

Target Grade

1Year

Course Numbering Code

HETMA5MCA1

Credits

2.00Credits

The course numbering code represents the faculty managing the subject, the department of the target students, and the education category (liberal arts / specialized course). For detailed information, please download the separate manual from the upper right 'question mark'.

Type of Class

講義 (Lecture)

Eligible Year/Semester

Fall semester 2026

Instructor

Yusuke Kikuchi,Yoshihiro Oka

Affiliation

工学研究科

Language of Instruction

Japanese

Related SDGs

9

Office Hours and Location

随時・書写B207研究室（菊池）
随時・書写B315研究室（岡）

Contact

ykikuchi@eng.u-hyogo.ac.jp（菊池）
oka@eng.u-hyogo.ac.jp（岡）

Corresponding Diploma Policy

A double circle indicates the most relevant DP number and a circle indicates the associated DP.

Corresponding Undergraduate School DP

ー

Corresponding Graduate School DP

1◎

Corresponding University-Wide DP

N/a

Academic Goals of Teacher Training Course

ー

Course Objectives and Learning Outcome

講義⽬的：
プラズマや放電に関わる現象は電力設備・電気機器における絶縁技術から半導体産業におけるプラズマプロセスまで幅広く用いられている。本講義では高電圧を用いたプラズマ放電の発生とその基礎現象ならびに応用について解説する。

到達目標：
プラズマ放電の発生原理や振る舞い、応用について説明できる。

Subtitle and Keywords of the Class

【サブタイトル】
社会を支える高電圧・プラズマ工学の基礎と応用を理解する
【キーワード】
荷電粒子の基礎過程、放電形態、プラズマ放電と材料相互作用、プラズマ応用、低圧プラズマ、大気圧低温プラズマ、液中プラズマ

Course Overview and Schedule

【講義内容】
荷電粒子の振る舞い、プラズマ放電生成法、計測法、低圧プラズマ、大気圧低温プラズマ、液中低温プラズマの応用について講述する。また、社会的課題を解決できる可能性のある最新の応用例についても解説する。

【授業計画】
第１回：気体論の基礎、荷電粒子の基礎過程、輸送過程(担当：菊池　祐介)
第２回：プラズマ放電生成の基礎過程(担当：菊池　祐介)
第３回：放電の形態１：部分放電・沿面放電、誘電体バリア放電(担当：菊池　祐介)
第４回：放電の形態２：グロー放電・アーク放電(担当：菊池　祐介)
第５回：プラズマ放電と材料相互作用(担当：菊池　祐介)
第６回：高電圧絶縁機器・技術(担当：菊池　祐介)
第７回：新しいプラズマ放電分野：インバータサージと部分放電、大気圧非平衡プラズマ放電(担当：菊池　祐介)
第８回：前半のまとめと理解度の確認(担当：菊池　祐介)
第９回：プラズマの分類(担当：岡　好浩)
第１０回：低圧プラズマの応用１：CVD、PVD、エッチング、PBII、PBIID (担当：岡　好浩)
第１１回：低圧プラズマの応用２：半導体製造プロセス(担当：岡　好浩)
第１２回：低圧プラズマの応用３：材料の表面改質(担当：岡　好浩)
第１３回：大気圧低温プラズマの応用１：プラズマジェット、パルスプラズマ(担当：岡　好浩)
第１４回：大気圧低温プラズマの応用２：液中プラズマ (担当：岡　好浩)
第１５回：新しいプラズマ応用分野：農業、医療への応用を目指した研究(担当：岡　好浩)

In-person/Remote Classification

In-person

Implementation Method and Remote Credit Limit Application

・対面授業のみ
・遠隔授業単位上限の適用を受けない

Uses of Generative AI

Completely forbidden

Precautions for using Generative AI

この授業においては、生成ＡＩの利用を禁止している。授業内での利用は厳禁であり、違反したことが判明した場合は単位を認定しない、又は認定を取り消すことがある。
生成ＡＩの利用にかかわらず『本学の教育における生成ＡＩの取扱いについて（学生向け）』の記載内容について留意すること。

Textbook

適宜資料を配布

References

「プラズマ理工学入門」　高村秀一　（森北出版）
「放電プラズマ工学」　行村　健　編著　(オーム社)

Contents and Estimated Time for Pre- and Post- Learning (Preparation and Review)

【予習】授業に際して指示する配布資料を事前読み込み（15ｈ）、プレゼン準備（15 h）
【復習】レポート課題（15ｈ）、講義内容の理解を深め定着させるために配布資料を読み直し（15ｈ）

Contents of Active Learning

前半（１〜８回）：該当しない。
後半（９〜１５回）：５人程度のグループに分け、グループ単位でのディスカッション(2回)、資料作成(2回)、発表(2回)を予定（全員1回は発表）。

Grading Criteria and Methods

【成績評価の基準】
講義目的・到達目標に記載する能力の到達度に基づき、S（90点以上）、A（80点以上）、B（70点以上）、C（60点以上）による成績評価のうえ、単位を付与する。
【成績評価の方法】
レポート80％、受講態度20%で評価する。

How to Disclose Assignments and Exam Results

レポートは、優れた内容のものを講義の中で紹介しながら講評する。

Precautions and Requirements for Course Registration

Practical Education

該当しない。

Remarks

In cases where any differences arise between the English version and the original Japanese version, the Japanese version shall prevail as the official authoritative version.

Syllabus data