高電圧・プラズマ工学

High Voltage and Plasma Engineering

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電気電子工学分野科目

工学研究科

1年

HETMA5MCA1

2.00単位

講義 (Lecture)

2026年度後期

菊池 祐介、岡 好浩

工学研究科

日本語

目標9

随時・書写B207研究室（菊池）
随時・書写B315研究室（岡）

ykikuchi@eng.u-hyogo.ac.jp（菊池）
oka@eng.u-hyogo.ac.jp（岡）

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1◎

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講義⽬的：
プラズマや放電に関わる現象は電力設備・電気機器における絶縁技術から半導体産業におけるプラズマプロセスまで幅広く用いられている。本講義では高電圧を用いたプラズマ放電の発生とその基礎現象ならびに応用について解説する。

到達目標：
プラズマ放電の発生原理や振る舞い、応用について説明できる。

【サブタイトル】
社会を支える高電圧・プラズマ工学の基礎と応用を理解する
【キーワード】
荷電粒子の基礎過程、放電形態、プラズマ放電と材料相互作用、プラズマ応用、低圧プラズマ、大気圧低温プラズマ、液中プラズマ

【講義内容】
荷電粒子の振る舞い、プラズマ放電生成法、計測法、低圧プラズマ、大気圧低温プラズマ、液中低温プラズマの応用について講述する。また、社会的課題を解決できる可能性のある最新の応用例についても解説する。

【授業計画】
第１回：気体論の基礎、荷電粒子の基礎過程、輸送過程(担当：菊池　祐介)
第２回：プラズマ放電生成の基礎過程(担当：菊池　祐介)
第３回：放電の形態１：部分放電・沿面放電、誘電体バリア放電(担当：菊池　祐介)
第４回：放電の形態２：グロー放電・アーク放電(担当：菊池　祐介)
第５回：プラズマ放電と材料相互作用(担当：菊池　祐介)
第６回：高電圧絶縁機器・技術(担当：菊池　祐介)
第７回：新しいプラズマ放電分野：インバータサージと部分放電、大気圧非平衡プラズマ放電(担当：菊池　祐介)
第８回：前半のまとめと理解度の確認(担当：菊池　祐介)
第９回：プラズマの分類(担当：岡　好浩)
第１０回：低圧プラズマの応用１：CVD、PVD、エッチング、PBII、PBIID (担当：岡　好浩)
第１１回：低圧プラズマの応用２：半導体製造プロセス(担当：岡　好浩)
第１２回：低圧プラズマの応用３：材料の表面改質(担当：岡　好浩)
第１３回：大気圧低温プラズマの応用１：プラズマジェット、パルスプラズマ(担当：岡　好浩)
第１４回：大気圧低温プラズマの応用２：液中プラズマ (担当：岡　好浩)
第１５回：新しいプラズマ応用分野：農業、医療への応用を目指した研究(担当：岡　好浩)

対面

・対面授業のみ
・遠隔授業単位上限の適用を受けない

完全に禁止

この授業においては、生成ＡＩの利用を禁止している。授業内での利用は厳禁であり、違反したことが判明した場合は単位を認定しない、又は認定を取り消すことがある。
生成ＡＩの利用にかかわらず『本学の教育における生成ＡＩの取扱いについて（学生向け）』の記載内容について留意すること。

適宜資料を配布

「プラズマ理工学入門」　高村秀一　（森北出版）
「放電プラズマ工学」　行村　健　編著　(オーム社)

【予習】授業に際して指示する配布資料を事前読み込み（15ｈ）、プレゼン準備（15 h）
【復習】レポート課題（15ｈ）、講義内容の理解を深め定着させるために配布資料を読み直し（15ｈ）

前半（１〜８回）：該当しない。
後半（９〜１５回）：５人程度のグループに分け、グループ単位でのディスカッション(2回)、資料作成(2回)、発表(2回)を予定（全員1回は発表）。

【成績評価の基準】
講義目的・到達目標に記載する能力の到達度に基づき、S（90点以上）、A（80点以上）、B（70点以上）、C（60点以上）による成績評価のうえ、単位を付与する。
【成績評価の方法】
レポート80％、受講態度20%で評価する。

レポートは、優れた内容のものを講義の中で紹介しながら講評する。

該当しない。